技術資料/FAQ
お客様から寄せられる、よくあるご質問を掲載しております。
お客様がお知りになりたい事柄がこちらに掲載されていない場合は、お問合せフォームにて随時受け付けております。
お気軽にご質問ください。
お問合せフォームにて受け付けたご質問は随時掲載していく予定です。
製品:エッチング装置
- エッチング装置の薬液の吐出はどのようなノズルですか?
- エッチング装置から高圧で薬液吐出をすることは可能ですが?
- リンスライン(純水)を直接エッチング装置へ接続することは可能ですか?
- エッチング装置で使用する薬液の使用量を極力節約したいのですが?
- エッチング装置で使用した廃液を薬液とリンス液(純水等)を完全に分けて回収することは可能ですか?
- エッチング装置は、チャンバー内の温湿度管理は可能ですか?
- エッチング装置は、マイナス温度の温度管理に対応してますか?
- エッチング装置は、0.1度の温度制御に対応してますか?
- エッチング装置の薬液吐出時の温度精度はどれくらいですか?
- エッチング処理時の吐出時薬液温度変化はありますか?
- メンテナンス体制はどうなっていますか?
- どれくらいの期間で定期メンテナンスは必要ですか?
- エッチング装置で両面一括処理は可能ですか?
- エッチング装置に搬送装置を取り付けることは可能ですか?
- 現像液とエッチング液を同一の装置で処理することは可能ですか?