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光干渉法は、図1のような分光器を利用した光学系によって得られた反射率を用いて光学的膜厚を求める方法です。

図2のように、金属基板上にコーティングされた膜を例にとると、対象サンプル上方から入射した光は膜の表面で反射します（R1）。さらに膜を透過した光が基板（金属）や膜界面で反射します（R2）。このときの光路差による位相のずれによって起こる光干渉現象を測定し、得られた反射率スペクトルと屈折率から膜厚を演算する方法を光干渉法と呼びます。