技術資料 ／ FAQ
一般的内容
膜厚計でのサンプル測定を依頼することは出来ますか?
随時、受け付けておりますので、こちらから お気軽にお問合わせください。
その際、塗布膜の材質、およその厚み、基板の材質などの概略をお教え願います。
例． Φ6インチSiウエハ上の1μm位のレジスト膜のマッピング測定
膜厚計でのサンプル測定を依頼することは出来ますか? | 光干渉式膜厚計のフォトリソグラフィ.com
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その際、塗布膜の材質、およその厚み、基板の材質などの概略をお教え願います。
例． Φ6インチSiウエハ上の1μm位のレジスト膜のマッピング測定