技術資料 / FAQ

その他

装置の膜厚対応範囲を教えてください

 

装置自体は回転時間と回転数を制御するもので、薄膜(数十nm)から厚膜(数百μm)までを想定しております。

塗布液の粘度にも依存しますので、詳しくはお問い合わせください。

 

 

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