製品案内
検査・測定機 － 非接触膜厚測定機・段差計など
フォトリソグラフィ.comでは、スピンコーター（塗布機）からマスクアライナー（露光装置）、現像・エッチングの研究用ラボ機を取り扱っております。
また、測定として、膜厚測定、段差、線幅・形状測定の各種測定機も取り扱っております。
| 非接触膜厚測定機 | 段差計・プロファイラー | コンフォーカル顕微鏡 | ||
| ●OPTM series ●ファイバー式膜厚モニタ | ●ET200A ●ET200A-D ●ET200A-3D ●ET4000A ●ET4000AK | ●OPTELICS HYBRID C3 ●OPTELICS HYBRID L3 ●OPTELICS HYBRID L7 |
ファイバー式膜厚モニタ
ファイバー式膜厚モニタは、小型反射プローブを採用し、実験室レベルから生産工程でのインライン全数検査まで、すべての場面で適用可能な光干渉法による反射分光式膜厚計です。保守性に優れ、プロセス装置内への組み込みやライン管理用途としても利用できます。最大９種類の透明膜の同時測定が可能です。
メンテナンス性に優れ、プロセス装置内への組み込みやライン管理用途としても利用できます。
特長
- 小型ファイバープローブ
高さ30mmの小型プローブを採用したことで、機器内の僅かな空間に取り付け可能です。対象面からプローブまでの距離は、1mmから80mm程度を推奨します。測定領域は約3mmφとなります。（オプションで1mmφのアタッチメントを用意）プローブの種類を変更することにより、サンプルとの距離を100mm以上離すことが可能です。
- 膜厚測定再現性0.1nm以下（3σ）
- 多層膜同時測定9層対応
- 膜質解析機能
□ 効媒質近似（EMA）法による混合層の混合率算出、結晶性判定
□ 光学定数解析 - 目的によって選べる光源
□ 白色LED、タングステンハロゲン、重水素・ハロゲン - 短時間で測定（1秒以内/1ポイント）
- 膜厚終点（エンドポイント）/検出ソフト標準
- 自動マッピング測定（オプション）/300mmウエハまで対応
仕様
| 光源タイプ | 波長範囲(nm) | 膜厚測定範囲 | 平均寿命(Hour) |
|---|---|---|---|
| 白色LED | 430～700 | 50nm～50µm | ＞50,000 |
| タングステンハロゲン | 400～900 | 50nm～50µm | 10,000 |
| 重水素・ハロゲン | 220～900 | 10nm～30µm | 1,000 |
本体および性能
| サンプルサイズ | 最大φ6インチ | |||
|---|---|---|---|---|
| 測定再現性 | ≦0.1nm | ※ 30nm以上1,000nm未満のSi基板上のSiO2単層膜において、0.1nm（3σ）以下。 ※ 推奨設置環境条件を満足すること。 | ||
| 解析 | カーブフィッティング法、FFT法、ピーク検出法 | |||
| ビーム径 | 約φ3mm、φ1mm | |||
| 測定距離 | ビーム径 約φ3mmの場合/最大80mm ビーム径 約φ1mmの場合/最大20mm | |||
| 電源 | 膜厚モニタ本体 | 最大2A | 制御用PC | 最大2A |
| 重量 | 約4kg | 約3kg | ||
| 寸法 | 約150（L）x160（W)x110（H)・・・重水素・ハロゲンランプ仕様時 | |||
| 推奨環境条件 | 温度 ：セットポイント 18～45℃の範囲内 湿度 ：45％±20％（結露無き事） 短期変化 ：±1.0℃/1時間×1周期（基準セットポイント） 長期変化 ：±2.0℃/24時間以上（基準セットポイント） | |||
測定スペクトルと膜厚短期再現性の例
オプション 自動ステージ
ウエハマッピング膜厚測定ユニットは、最大300mmウエハの全面自動マッピング膜厚測定が可能です。
自動アライメント機能、事故較正機能、平坦度の高いウエハチャックの採用により、信頼性の高い膜厚測定が可能です。
※ ファイバー式膜厚モニタと組み合わせて使用
自動ステージ仕様
リニアステージ
移動量： 300mm（分解能：4µm）
回転ステージ
回転範囲： -2～400度（分解能：0.005°）
寸法 ： 約500（L）×160（W）×110（H)
重量 ： 約20kg
消費電力 ： 100～240VAC、最大2A
