キズの発生は、測定時の荷重、触針の先端形状などに依存します。
一般的に、インジウムInなどの柔らかい金属では、キズが付く事があります。
ガラス上のCr膜、Siウエハ上のSiO2膜では、本体の観察装置でのキズの判別はできないレベルです。