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技術資料/FAQ

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測定について

膜厚計の測定スポットの径は?

【OPTM series】

対物レンズの倍率により変わります。

反射型対物:10倍/φ20μm、20倍/φ10μm、40倍/φ5μm

可視屈折型対物レンズ:5倍/φ40μm