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ホーム > 技術資料/FAQ > 製品: 光干渉式膜厚計 > 測定について > 膜厚計の測定スポットの径は?
【OPTM series】
対物レンズの倍率により変わります。
反射型対物:10倍/φ20μm、20倍/φ10μm、40倍/φ5μm
可視屈折型対物レンズ:5倍/φ40μm
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