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ホーム > 技術資料/FAQ > 製品: 光干渉式膜厚計 > スペック・仕様 > 膜厚計でマッピング測定可能なサンプルサイズは?
【OPTM series】
標準の仕様では200×200㎜、t=17㎜まで測定が可能です。φ300㎜ウエハの場合はご相談ください。
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