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ホーム > 技術資料/FAQ > 製品: 光干渉式膜厚計 > 使い方 > 膜厚計には消耗品がありますか?
【OPTM series】
光源のランプ、Alリファレンスなどが消耗品になります。
ランプの寿命は、ハロゲンランプで1200h、重水素ランプで2000hが目安となります。
Alリファレンスはクリーンルームなどで汚れなければ比較的長期間使用いただく事も可能です。手先で反射面を触らない様に気を付けてご使用願います。
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(半導体検査・測定装置)