技術資料/FAQ
一般的内容
膜厚計でのサンプル測定を依頼することは出来ますか?
随時、受け付けておりますので、こちらから お気軽にお問合わせください。
その際、塗布膜の材質、およその厚み、基板の材質などの概略をお教え願います。
例. Φ6インチSiウエハ上の1μm位のレジスト膜のマッピング測定
Inspection・measurement
produced by ミカサ(株)
随時、受け付けておりますので、こちらから お気軽にお問合わせください。
その際、塗布膜の材質、およその厚み、基板の材質などの概略をお教え願います。
例. Φ6インチSiウエハ上の1μm位のレジスト膜のマッピング測定