反射式膜厚モニタ
ファイバー式膜厚モニタは、小型反射プローブを採用し、実験室レベルから生産工程でのインライン全数検査まで、すべての場面で適用可能な光干渉法による反射分光式膜厚計です。保守性に優れ、プロセス装置内への組み込みやライン管理用途としても利用できます。最大9種類の透明膜の同時測定が可能です。
特長
- 小型ファイバープローブ
高さ30mmの小型プローブを採用したことで、機器内の僅かな空間に取り付け可能です。対象面からプローブまでの距離は、1mmから80mm程度を推奨します。測定領域は約3mmφとなります。（オプションで1mmφのアタッチメントを用意）プローブの種類を変更することにより、サンプルとの距離を100mm以上離すことが可能です。
- 膜厚測定再現性0.1nm以下（3σ）
- 多層膜同時測定9層対応
- 膜質解析機能
- 効媒質近似（EMA）法による混合層の混合率算出、結晶性判定
- 光学定数解析
- 目的によって選べる光源
- 白色LED、タングステンハロゲン、重水素・ハロゲン
- 短時間で測定（1秒以内/1ポイント）
- 膜厚終点（エンドポイント）/ 検出ソフト標準
- 自動マッピング膜厚計（製品）/ 300mmウエハまで対応
仕様
| 光源タイプ | 波長範囲(nm) | 膜厚測定範囲 | 平均寿命(Hour) |
|---|---|---|---|
| 白色LED | 430～700 | 50nm～50μm | ＞50,000 |
| タングステンハロゲン | 400～900 | 50nm～50μm | 10000 |
| 重水素・ハロゲン | 220～900 | 10nm～30μm | 1000 |
本体および性能
| サンプルサイズ | 最大φ6インチ | |||
|---|---|---|---|---|
| 測定再現性 | ≦0.1nm | ※ 30nm以上1,000nm未満のSi基板上のSiO2単層膜において、0.1nm（3σ）以下。 ※ 推奨設置環境条件を満足すること。 | ||
| 解析 | カーブフィッティング法、FFT法、ピーク検出法 | |||
| ビーム径 | 約φ3mm、φ1mm | |||
| 測定距離 | ビーム径 約φ3mmの場合/最大80mm ビーム径 約φ1mmの場合/最大20mm | |||
| 電源 | 膜厚モニタ本体 | 最大2A | 制御用PC | 最大2A |
| 重量 | 約4kg | 約3kg | ||
| 寸法 | 約150（L）x160（W)x110（H)・・・重水素・ハロゲンランプ使用時 | |||
| 推奨環境条件 | 温度 ：セットポイント 18～45℃の範囲内 湿度 ：45％±20％（結露無き事） 短期変化 ：±1.0℃/1時間×1周期（基準セットポイント） 長期変化 ：±2.0℃/24時間以上（基準セットポイント） | |||
卓上型 自動マッピング膜厚計
卓上型 自動マッピング膜厚計は、最大300mmウエハの全面自動膜厚マッピング測定が可能です。
自動アライメント機能、自己キャリブレーション機能、平坦度の高いウエハチャックの採用により、信頼性の高い膜厚測定が可能です。
仕様
| 対象ワーク | 100mm・150mm・200mm・300mm 膜付きウエハ |
|---|---|
| ビーム径 | 約φ3mm（オプション：φ1mm・この場合はアライメント利用不可） |
| 計測時間 | ≦１sec/Point |
| 電源 | ノートPC 100～240VAC 最大2A 膜厚モニタ本体 100～240VAC 最大2A |
| 重量 | ノートPC 約3kg 膜厚モニタ本体 約30kg |
| 装置サイズ | 膜厚モニタ本体 (L)約640×(W)340×(H)370mm |
自動ステージ仕様
リニアステージ
| 移動量 | 300mm（分解能：4µm） |
|---|---|
| 最大速度 | 40mm/sec |
回転ステージ
| 移動範囲 | -2～400度（分解能：0.005°） |
|---|---|
| 最大速度 | 30°/sec |
※ 光学系、測定仕様は反射式膜厚モニタと同様
