可能です。　測定には、各層の各々の膜材質及び基板の、屈折率n　減衰係数ｋが必要となります。
n/k値が分からない場合は、各々の単膜のサンプルを測定し、n/k値のデーターを確認後測定となります。
尚、各々の膜厚が大きく異なる場合（例　膜厚1μmと100μm）は、お問合わせください。