技術資料　／　FAQ

基本は真空吸着方式です。

吸着方法にも溝式と小穴式がございます。基板の形や厚み、膜厚などの情報を基にご提案をしております。

メカニカルチャック方式も対応可能ですが、その場合バキュームインターロック機能が使用できなくなります。

他、中心部を吸着しない外周吸着方式、Oリング吸着方式などご希望・用途に合わせてご提案しております。

詳しくは、試料台のページへ　>>

その他FAQ　試料台(チャックホルダー)

• 標準的な試料台（チャックホルダー）などはありますか？納期はどれくらいですか？
• スピンコーターで使用可能な角(□)や丸(Φ)以外の形状の基板に対応できる試料台(チャックホルダー)には、どのような種類がありますか？
• スピンコーター用試料台(チャックホルダー)で、基板の固定方法にはどのような方式がありますか。
• スピンコーター用試料台(チャックホルダー)の材質にはどのような種類がありますか？
• スピンコーター用試料台(チャックホルダー)は全ての機種で互換性がありますか。
• 試料台(チャックホルダー)の材質の違いによるメリットとデメリットは何ですか？
• スピンコーター用試料台(チャックホルダー)の材質の選び方

タグ: スピンコーター, スピンコート