技術資料　／　FAQ

■アルミ製

• メリット：金属ですので樹脂と比べ加工し易く吸着面の面精度(平面性)良く加工が可能です。また、金属ですので耐久性にも優れております。比較的に安価に作製ができます。

• デメリット：熱伝導性が高いため連続稼働の場合、モーターからの熱が成膜に影響を及ぼしてしまうことがあります。ＰＯＭ製やテフロン製に比べ比重が重いので大きいサイズになると加速・減速性能が低下する等の影響がございます。

■ＰＯＭ製

• メリット：金属に最も近い樹脂のため加工性が良く、面精度(平面性)を出し易い。機械的に疲労しにくい。金属に近い樹脂ですので耐久性にも優れ、熱伝導性が低い特徴がございます。テフロンより安価である。

• デメリット：熱に弱く、アセトンなどの有機溶剤への耐薬性がないため膨張してしまう。テフロンに比べ耐薬品性に劣る。

■テフロン製

• メリット：耐薬品性に優れ、ほとんどの薬品に対して耐性をもっている。耐熱性にも優れ、非粘着性及び低磨耗性と共に応用面で万能である。

• デメリット：高価。機械的に脆く、衝撃に弱い。比重が重いため加速や減速性能が低下する。アルミより重い。アルミやＰＯＭに比べ柔らかいため面精度(平面性)に劣る。

その他FAQ　試料台(チャックホルダー)

• 標準的な試料台（チャックホルダー）などはありますか？納期はどれくらいですか？
• スピンコーターで使用可能な角(□)や丸(Φ)以外の形状の基板に対応できる試料台(チャックホルダー)には、どのような種類がありますか？
• スピンコーター用試料台(チャックホルダー)で、基板の固定方法にはどのような方式がありますか。
• スピンコーター用試料台(チャックホルダー)の材質にはどのような種類がありますか？
• スピンコーター用試料台(チャックホルダー)は全ての機種で互換性がありますか。
• 試料台(チャックホルダー)の材質の違いによるメリットとデメリットは何ですか？
• スピンコーター用試料台(チャックホルダー)の材質の選び方