製品案内
フォトリソ現像・エッチング装置.comの製品は、研究・開発、少量生産向けに小型化した卓上型の装置です。
拡張性に優れ必要なオプションを必要なだけ取り付け使用することが可能です。
フォトリソ用小型エッチング装置 ED-3000
エッチング装置
製品特徴
- 大型基板対応ツインスイングノズルスプレー式（ウェット）
- 耐薬品を考慮し接液部にPVC(塩ビ)を使用
- 液晶タッチパネルにてプログラム簡単入力
- 薬液2系統又は3系統増設可能
- エッチング、リンス、振り切りを連続処理
- 薬液供給は加圧タンク圧送式
製品仕様
- チャンバー
- PVC(塩ビ)製
- 基板サイズ
- φ1インチ～φ12インチ(220×220mm)
- 薬液圧送
- 加圧タンク圧送式
- 薬液吐出
- スプレー吐出(スイングノズル式)
- ステップ数
- 48ステップ(スキップ・コピー機能付)
- プログラムモード
- 10モード
- プロセス(標準)
- エッチング液:1系統(2ノズル)
リンス:1系統(2ノズル)
バックリンス:1系統
- 使用薬液
- 酸系エッチング液
- 回転数
- 0～3,000rpm
- インターロック
- 真空吸着確認センサー
処理室カバーインターロック
ノズル移動オーバーランリミッター
- 電源
- AC200V 3相 15A
- ユーティリティ
- N2：0.6MPa
- 寸法(mm/ドア開放時)
- 720W×500H(910H)×520D
- 重量
- 60kg
- 主要オプション
- 薬液温度管理システム(加圧方式)
各種基板ホルダー
設置用作業台
PTFE(テフロン)製チャンバー
※仕様は予告なく変更する事がございます。
技術資料 ／ FAQ
