具体的な動作については下記動画をご覧下さい。スプレー現像の場合、基板を回転させながらスプレーノズルが扇状に動き吐出します。パドル現像の場合は、基板は静止状態でノズルが基板センター位置に移動してから吐出致します。
小型現像装置AD-1200
現像装置AD-3000　スプレー現像処理動画
現像装置AD-3000　パドル現像処理動画