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マスクアライナー

マスクアライナーで必要になるユーティリティは何ですか？

2019年6月18日火曜日

電源はAC100V　20A　マスク、基板固定用に真空が-0.08Mpa必要です。また、MA-10、MA-20、MA-60Fは顕微鏡、マスクステージ駆動に空圧0.5Mpa、N2ブローアップ用にN2　0.5Mpaが必要です。

タグ:マスクアライナー
カテゴリー: 製品：マスクアライナー, その他

マスクアライナーSEM画像　MA-60F

2017年5月12日金曜日

【薄膜L＆S】

【厚膜角ホール】

線幅	2μm(L＆S)
レジスト	OFPR-800LB (東京応化製)
膜厚	1μm

線幅	6μm(角ホール)
レジスト	e-PR THICK (e-chem japan製)
膜厚	6.2μm

マスクアライナーMA-60Fの製品案内はこちら　>>

タグ:マスクアライナー
カテゴリー: 技術資料（SEM画像）

マスクアライナーMA-20　露光　解像性・分布評価画像

2017年5月12日金曜日

【目的】
マスクアライナーMA-20 の解像性チェックをOFPR800（膜厚1μm）を使い行う。
また、ウエハー内の分布も観察する。

＜主な装置、材料＞
　　スピンコーター：MS-A150
　　露光機：MA-20
　　マスク：テストマスク
　　フォトレジスト：OFPR-800
　　現像機：AD-1200
　　現像液：NMD-3 (2.38％TMAH)

【評価結果】

１．Photo 1, 2 にライン（残し、抜き）の3um, 2um, 1um の様子を示します。
　　1umまで解像されており、場所による差もほとんど観察されません。
　　尚、若干、ラインががたがたしているところが見受けられますが、
　　マスクの汚れと思われます。また、1umのドット等で崩れかかったりしているところが
　　ありますが、マスクそのものが1umの形状がいびつなところが多々ありばらつきが
　　ありますので、露光機、レンズ、レジストの影響とは言いかねます。

２．Photo 3－6 に3, 2, 1um のL&S、Dot、Holeの様子を示します。
　　1umまで解像されており、場所による差もほとんど観察されません。

３．Photo　7－9は、その他の場所の抜粋のSEMです。

ＳＥＭの観察ポジション

SEM SEM SEM SEM SEM SEM その他SEM抜粋

マスクアライナーMA-20の製品案内はこちら　>>

タグ:マスクアライナー
カテゴリー: 技術資料（SEM画像）

マスクアライナーSEM画像　MA-20

2017年5月12日金曜日

【薄膜L＆S】

【厚膜角ホール】

【厚膜円柱】

線幅	1μm(L＆S)
レジスト	OFPR-800LB (東京応化製)
膜厚	1μm

線幅	8μm(角ホール)
レジスト	e-PR THICK (e-chem japan製)
膜厚	6.3μm

線幅	7μm(円柱)
レジスト	SU-8 (日本化薬製)
膜厚	30μm

【SU-8 膜厚20um 時の各ギャップでのLine ＆ Spaceの解像限界(倍率:Ｘ2,000)】

SU-8 膜厚20um 時の各ギャップでのLine ＆ Spaceの解像限界(倍率:Ｘ2,000)

ギャップを、0 (＝コンタクト), 10, 20, 30, 50, 100umに設定した時のSU-8（膜厚：20μm）の解像性能になります。各Line & Spaceで、どのギャップ値まで解像されるかをまとめると、次のようになります。

＜Line ＆ Space＞	＜解像限界となるギャップ値＞
25um	100um以内
10um	50um以内
8um	50um以内
7um	30um以内
6um	20um以内
3um、5um	コンタクトでも解像されず