装置自体は回転時間と回転数を保証するもので、膜厚分布の保証はしておりません。
スピンコーター
膜厚分布の保証値を教えてください
金曜日, 11月 14th, 2014スピンコーターのチャンバー内の雰囲気制御はできますか？
金曜日, 11月 14th, 2014対応しておりません。
試料を加熱しながら塗布することはできますか？
金曜日, 11月 14th, 2014対応しておりません。
スピンコーターのチャンバー内で加温は可能ですか？
金曜日, 11月 14th, 2014対応しておりません。
御社のスピンコーターの膜厚対応範囲を教えてください
金曜日, 11月 14th, 2014
装置自体は回転時間と回転数を制御するもので、
薄膜（数十nm）から厚膜（数百μm）までを想定しております。
塗布液の粘度にも依存します。
詳しくはお問い合わせください。
スピンコーターエッジ・バックリンス動画
火曜日, 3月 13th, 2018スピンコーター用滴下・エッジ・バックリンス動画
火曜日, 3月 13th, 2018スピンコーター用レジスト滴下装置 滴下動画
金曜日, 5月 12th, 2017膜厚を常に一定の厚み(分布)にコントロールするためには回転数、回転時間、カップ内雰囲気(溶剤雰囲気)の３つが特に重要になります。更に膜厚分布の管理を追求していくと滴下量、カップ内の形状(風切・排気・試料台の形状)、温度、湿度、基板面平行度、滴下液の温度、滴下液の濃度、滴下液の揮発性、ベーク温度、ベーク温度の分布ムラなど様々な要素を管理する事で均一な成膜が可能となります。
スピンコーター成膜処理動画
金曜日, 5月 12th, 2017スピンコーター成膜データ MS-B300密閉型
金曜日, 5月 12th, 2017【密閉型・オープン型角基板成膜分布比較画像】
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