小型、高性能（回転精度±1rpm）、多種多様な基板に対応　ラボ用スピンコーター
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スピンコーター

スピンコーター成膜データ　MS-B300

金曜日, 5月 12th, 2017
スピンコーター成膜データ　MS-B300 
膜厚測定装置FILMETRICS製F50
レジストOFPR-800LB(東京応化社製)
基板サイズΦ12インチシリコンウエハ
ターゲット膜厚1μm
膜厚分布±0.8％

 

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スピンコーター成膜データ　MS-B150

金曜日, 5月 12th, 2017
スピンコーター成膜データ　MS-B150 
膜厚測定装置FILMETRICS製F50
レジストOFPR-800LB(東京応化社製)
基板サイズΦ6インチシリコンウエハ
ターゲット膜厚1μm
膜厚分布±0.6％

 

スピンコーターMS-B150の製品案内はこちら　>>

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スピンコーター成膜データ　MS-B200密閉型

金曜日, 5月 12th, 2017

【密閉型・オープン型角基板成膜分布比較画像】

＜密閉型＞  
スピンコーター成膜データ　MS-B200密閉型 
膜厚測定装置FILMETRICS製F50
レジストOFPR-800LB(東京応化社製)
基板サイズ65×65mm
膜厚分布±0.7％
＜オープン型＞  
スピンコーター成膜データ　MS-B200オープン型 
膜厚測定装置FILMETRICS製F50
レジストOFPR-800LB(東京応化社製)
基板サイズ65×65mm
膜厚分布±19.6％

 

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スピンコーター成膜データ　MS-B200

金曜日, 5月 12th, 2017
スピンコーター成膜データ　MS-B200 
膜厚測定装置FILMETRICS製F50
レジストOFPR-800LB(東京応化社製)
基板サイズΦ8インチシリコンウエハ
ターゲット膜厚1μm
膜厚分布±0.5％

 

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スピンコーター成膜データ　MS-B100　（レジスト：OFPR-800LB）

金曜日, 5月 12th, 2017
スピンコーター成膜データ　MS-B100 
膜厚測定装置FILMETRICS製F50
レジストOFPR-800LB(東京応化社製)
基板サイズΦ4インチシリコンウエハ
ターゲット膜厚1μm
膜厚分布±0.8％

 

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