製品案内
フォトリソグラフィ.comでは、スピンコーター（塗布機）からマスクアライナー（露光装置）、現像・エッチングの研究用ラボ機を取り扱っております。
また、測定として、膜厚測定、段差、線幅・形状測定の各種測定機も取り扱っております。
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検査・測定機
フォトリソグラフィ.comでは、非接触膜厚測定機・膜厚装置、段差測定装置も扱っております。非接触膜厚測定機・膜厚装置は、反射率分光法とカーブフィット法を組み合わせた非接触光学式薄膜測定装置です。薄膜の表面と基板との界面からの反射を解析することにより、薄膜の測定が数秒で簡単に行えます。段差測定装置は、段差及び二次元表面粗さ等を自動的に測定しデータ解析処理を行う多目的、多機能な微細形状測定機です。
Coating Monitor開発製品評価中（無償貸出中）
Coating Monitor（スピンコーター）の開発評価を実施しており、ご興味がございますお客様へデモ機を無償にて貸出を実施しております。貸出終了後にお客様の装置に対するご意見をお聞かせください。
今後の製品開発に繋げさせて頂きます。
| Coating Monitor |  |
膜厚測定機(非接触・反射分光・光学式)・膜厚測定機
フォトリソグラフィ.comでは、非接触膜厚測定機・膜厚装置を扱っております。非接触膜厚測定機・膜厚装置は、反射率分光法とカーブフィット法を組み合わせた非接触光学式非接触膜厚測定機・膜厚装置です。薄膜の表面と基板との界面からの反射を解析することにより、薄膜の測定が数秒で簡単に行えます。
| 非接触膜厚測定機 OPTM series |  |
| 非接触膜厚測定機 ファイバー式膜厚モニタ |  |
段差計（段差測定機）・プロファイラー・表面粗さ測定機
フォトリソグラフィ.comでは、段差計・プロファイラー・表面粗さ測定機も扱っております。段差計（段差測定器）は、段差及び二次元表面粗さ等を自動的に測定しデータ解析処理を行う多目的、多機能な微細形状測定機です。
| 段差計 ET200A ET200A-D ET200A-3D |  |
| 段差計 ET4000A ET4000AK |  |
コンフォーカル顕微鏡 OPTELICS HYBRID
フォトリソグラフィ.comでは、コンフォーカル顕微鏡（レーザー顕微鏡）も扱っております。
コンフォーカル顕微鏡は、白色コンフォーカル及びレーザーコンフォーカルをベースに、高解像度・高コントラストの３D計測・ナノレベル形状計測などを可能にし、微分干渉観察、垂直走査型白色干渉・位相シフト干渉（PSI）形状測定、反射分光膜厚測定などを1台に組み込んだ多機能な高性能顕微鏡です。
| OPTELICS HYBRID L7 OPTELICS HYBRID C3 OPTELICS HYBRID L3 |  |
微小線幅測定装置
フォトリソグラフィ.comでは、微小線幅測定装置も扱っております。線幅測定装置は、傾斜部分も含む測定条件を設定する事により、再現性の高い線幅測定が可能となっており、フォトリソ工程におけるレジストなどのパターン線幅寸法チェックに最適な測定システムです。
| 微小線幅測定装置 |  |
