製品案内

フォトリソグラフィ.comでは、スピンコーター（塗布機）からマスクアライナー（露光装置）、現像・エッチングの研究用ラボ機を取り扱っております。
また、測定として、膜厚測定、段差、線幅・形状測定の各種測定機も取り扱っております。

■マニュアルタイプのコンタクトマスクアライナーです。
■不定形サイズの基板、シリコン・ガラス・化合物・フイルムなど様々な材質に対応可能です。
■ご予算や用途に応じて、コリメータータイプ、マルチミラータイプ、インテグレータータイプの
　3種類の露光光源を用意しております。
■5×5mm～100×100mm及びφ6インチまでの基板に対応した機種を取り揃えております。
■マスクホルダー・試料台の交換は簡単作業のため、研究開発用途に最適です。
■アライメントスコープは双眼と三眼の二種類を用意しております。