製品案内
現像・エッチング装置
フォトリソグラフィ.comでは、スピンコーター（塗布機）からマスクアライナー（露光装置）、現像・エッチングの研究用ラボ機を取り扱っております。
また、測定として、膜厚測定、段差、線幅・形状測定の各種測定機も取り扱っております。
| フォトリソ用現像装置 | ●AD-1200 ●AD-3000 | フォトリソ用エッチング装置 | ●ED-1200 ●ED-3000 |
フォトリソ用小型現像装置 AD-1200
現像装置
製品特徴
- スイングノズル式スプレー現像及びパドル現像も対応
- 耐薬品を考慮し接液部にSUSを使用
- 液晶タッチパネルにてプログラム簡単入力
- 最大3薬液まで拡張可能
- 薬液、リンス、振り切りを連続処理
- 薬液圧送ポンプ内蔵
製品仕様
| チャンバー | ステンレス製 | |||||
| 基板サイズ | φ1インチ～φ6インチ(150×150mm) | |||||
| 薬液圧送 | 内蔵ポンプ使用 | |||||
| 薬液吐出 | スプレー吐出(スイングノズル式) | |||||
| ステップ数 | 96ステップ(スキップ・コピー機能付) | |||||
| プログラムモード | 10モード | |||||
| プロセス(標準) | 現像液:1系統 リンス:1系統 バックリンス:1系統 | |||||
| 使用薬液 | アルカリ系現像液 ・アルカリ現像液（TMAH） ・有機溶剤現像液（ネガレジスト用）にも対応可能 （オプション） | |||||
| 回転数 | 0～3,000rpm | |||||
| インターロック | 真空吸着確認センサー 処理室カバーインターロック ノズル移動オーバーランリミッター | |||||
| 電源 | AC100V 4A | |||||
| 寸法(mm/ドア開放時) | 550W×440H(740H)×400D | |||||
| 重量 | 33kg | |||||
| 主要オプション | 薬液温度管理システム(加圧方式) 各種基板ホルダー 設置用作業台 | |||||
※仕様は予告なく変更する事がございます。
スプレー現像とディップ現像の比較画像
| 主な装置及び材料 | |
|---|---|
| レジスト | AZ P4620 |
| 現像液 | AZ 400K |
| 使用スピンコーター | MS-A150 |
| 使用露光装置 | MA-20 |
| 使用現像装置 | AD-1200 |
| プロセス条件 | |
|---|---|
| 基板 | φ4インチシリコンウエハ |
| プライマリー処理 | HMDS |
| 膜厚 | >6μm |
| プリベーク | 100℃ 90sec |
| スプレー現像時間 | 60sec |
※ポストベーク無し
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