製品案内

現像・エッチング装置

フォトリソグラフィ.comでは、スピンコーター（塗布機）からマスクアライナー（露光装置）、現像・エッチングの研究用ラボ機を取り扱っております。
また、測定として、膜厚測定、段差、線幅・形状測定の各種測定機も取り扱っております。

フォトリソ用現像装置

フォトリソ用エッチング装置

現像装置

チャンバー	ステンレス製
基板サイズ	φ1インチ～φ12インチ(220×220mm)
薬液圧送	加圧タンク圧送式
薬液吐出	スプレー吐出(スイングノズル式)
ステップ数	48ステップ(スキップ・コピー機能付)
プログラムモード	10モード
プロセス(標準)	現像液:1系統(2ノズル) リンス:1系統(2ノズル) バックリンス:1系統
使用薬液	アルカリ系現像液・アルカリ現像液（TMAH）・有機溶剤現像液（ネガレジスト用）にも対応可能（オプション）
回転数	0～3,000rpm
インターロック	真空吸着確認センサー処理室カバーインターロックノズル移動オーバーランリミッター
電源	AC200V　3相　15A
ユーティリティ	N2：0.6MPa
寸法(mm/ドア開放時)	720W×500H(910H)×520D
重量	60kg
主要オプション	薬液温度管理システム(加圧方式) 各種基板ホルダー設置用作業台