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技術資料　／　FAQ

技術資料（SEM画像）

マスクアライナーSEM画像　MA-60F

【薄膜L＆S】薄膜L＆S   【厚膜角ホール】厚膜角ホール
線幅 2μm(L＆S)
レジスト OFPR-800LB (東京応化製)
膜厚 1μm
 
線幅 6μm(角ホール)
レジスト e-PR THICK (e-chem japan製)
膜厚 6.2μm

 

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