技術資料 ／ FAQ
UV光源
御社のマスクアライナーはプロキシミティ露光は可能ですか？
MA-20、MA-60Fには、Z軸の移動量を1μm単位となりますが測定できる機構を有しております。センサーによる 正確なギャップ設定は出来ませんが簡易的な実験を行う事は可能です。 また、ギャップ試料台を用いるという方法もございます。但し、ギャップ値につきましては制限がございます。 詳細は別途ご相談下さい。
キャップ試料台
【特徴】
■プロキシミティ露光が可能です
■ピンによって物理的にギャップ設定を行います
※ギャップ範囲高さ10μm～200μmで製作可能です
※10μm間隔で設定できます
※ピンの精度は±5μm
（30μm以下のギャップの場合、基板厚み公差によってはMaskに接触してしまう可能性があります）
■Maskにコンタクトさせたくない露光に最適です
※SU-8での各種実験SEM画像用意しております
■既にお持ちの装置にオプションとして導入いただけます
プロキシミティ露光が可能な装置は光源の特性上、MA-20、MA-60F、M-2LFのみとなります。 MA-10B、M-1Sは対応しておりません。
