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技術資料　／　FAQ

技術資料（成膜データ）

スピンコーター成膜データ　MS-B300密閉型

【密閉型・オープン型角基板成膜分布比較画像】

＜密閉型＞

スピンコーター成膜データ　MS-B300密閉型

膜厚測定装置	FILMETRICS製F50
レジスト	OFPR-800LB(東京応化社製)
基板サイズ	150×150mm
膜厚分布	±0.7％

＜オープン型＞

スピンコーター成膜データ　MS-B300オープン型

膜厚測定装置	FILMETRICS製F50
レジスト	OFPR-800LB(東京応化社製)
基板サイズ	150×150mm
膜厚分布	±3.5％

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