最大試料サイズでどれ位厚い基板まで使用できますか？ | スピンコーターのフォトリソグラフィ.com
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厚みについては、各機種の最大対応基板サイズで2㎜程度を想定しております。2㎜以上の厚みがある基板についてはご相談ください。
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