技術資料 ／ FAQ
基板
スピンコート中に基板の裏面に回り込んでしまい困っております。対策はありますか？
バックリンスで対応可能です。オプション機構となりますが、MS-B150・MS-B200・MS-B300にて対応が可能です。詳しくはお問い合わせ下さい。
スピンコート中に基板の裏面に回り込んでしまい困っております。対策はありますか？ | スピンコーターのフォトリソグラフィ.com
バックリンスで対応可能です。オプション機構となりますが、MS-B150・MS-B200・MS-B300にて対応が可能です。詳しくはお問い合わせ下さい。