技術資料 ／ FAQ
お客様から寄せられる、よくあるご質問を掲載しております。
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お問合せフォームにて受け付けたご質問は随時掲載していく予定です。
製品： スピンコーター
基板
試料台(チャックホルダー)
オプション
修理
- スピンコーターが回転動作しなくなりました。電源はONになりプログラムを入力することも可能です。ただスタートボタンを押しても回転動作が始まらず、時間のカウントも始まりません。そして数秒後、終了の音が鳴ります。
- スピンコーターの電源をONにしても初期動作(１回転)せず、ビービーとエラー音が鳴って動作させることができません。
- 真空ポンプをONにするとスピンコーター本体の電源に関わらず真空が吸った状態になってしまいます。
- スピンコーターの回転などの表示部に【Oerr】とエラーメッセージが表示されます。どのようなエラーでしょうか？
- スピンコーターの回転などの表示部に【Serr】とエラーメッセージが表示されます。どのようなエラーでしょうか？
- スピンコート中に基板が頻繁に飛んでしまうのですが、どうしたら良いでしょうか？
その他
- 御社のスピンコーターの膜厚対応範囲を教えてください
- スピンコーターのチャンバー内で加温は可能ですか？
- 試料を加熱しながら塗布することはできますか？
- スピンコーターのチャンバー内の雰囲気制御はできますか？
- 膜厚分布の保証値を教えてください
- 御社のスピンコーターはグローブＢＯＸ内で使用可能ですか？
- スピンコーターで簡易的に現像できませんか？
- 御社のスピンコーターは、酸性の塗布材料に対応して防錆仕様ですか？
- 取扱説明書を紛失してしまいました。
- スピンコーターにおいて使用されている主な塗布材はどのようなものがありますか？
- スピンコーターの導入を検討しておりますが、その前にレンタル、もしくは受託加工をいただくことは可能ですか？
- 国内で購入したスピンコーターを海外へ持っていきたいのですが可能でしょうか？
- チャンバー内の温度を上げる事はできますか？
- 防爆タイプの装置は有りますか？
- MS-AとMS-Bとの違いは何ですか？
技術資料（成膜データ）
