酸系エッチング液に対応しております。フッ酸につきましては濃度により対応できないケースもございます。詳しくはお問い合わせ下さい。
エッチング装置
エッチング装置では、どのような薬液が使用可能ですか?
2019年2月18日 月曜日エッチング装置の薬液(エッチング液/リンス液)は最大何系統まで対応可能ですか?
2019年2月18日 月曜日ED-1200で最大4系統(3薬液1リンスなど)、ED-3000で最大6系統(5薬液1リンスなど)まで対応可能です。
エッチング装置 | スピンコーター・マスクアライナーのフォトリソグラフィ.com
酸系エッチング液に対応しております。フッ酸につきましては濃度により対応できないケースもございます。詳しくはお問い合わせ下さい。
ED-1200で最大4系統(3薬液1リンスなど)、ED-3000で最大6系統(5薬液1リンスなど)まで対応可能です。