技術資料 ／ FAQ
技術資料 ／ FAQ
スピンコーターの回転などの表示部に【Serr】とエラーメッセージが表示されます。どのようなエラーでしょうか？
【Serr】は、システムエラーです。装置上、正常な動作が出来ない何かしらの事象が発生しております。まずはお問い合わせ下さい。
【Serr表示画面】
スピンコーターの回転などの表示部に【Serr】とエラーメッセージが表示されます。どのようなエラーでしょうか？ | ミカサ・スピンコーター.com ミカサ・スピンコーター.com
 |  |  |  |  | |  | |||
| |||||||||
スピンコーターの回転などの表示部に【Serr】とエラーメッセージが表示されます。どのようなエラーでしょうか？ | ミカサ・スピンコーター.com ミカサ・スピンコーター.com
【Serr】は、システムエラーです。装置上、正常な動作が出来ない何かしらの事象が発生しております。まずはお問い合わせ下さい。
【Serr表示画面】
| | | | | | | |||
| |||||||||
