技術資料 / FAQ
お客様から寄せられる、よくあるご質問を掲載しております。
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試料台(チャックホルダー)
- 塗布液(レジスト液等)が装置内部に入らないような対策は可能ですか?
- 試料台(チャックホルダー)ですが、大は小を兼ねますか?
- スピンコーター用試料台(チャックホルダー)の材質の選び方
- 試料台(チャックホルダー)の材質の違いによるメリットとデメリットは何ですか?
- スピンコーター用試料台(チャックホルダー)は全ての機種で互換性がありますか。
- スピンコーター用試料台(チャックホルダー)の材質にはどのような種類がありますか?
- 標準的な試料台(チャックホルダー)などはありますか?納期はどれくらいですか?
- スピンコーターで使用可能な角(□)や丸(Φ)以外の形状の基板に対応できる試料台(チャックホルダー)には、どのような種類がありますか?
- スピンコーター用試料台(チャックホルダー)で、基板の固定方法にはどのような方式がありますか。











