スピンコーター

エッジリンス、バックリンスは、オプションとしてご用意しております。

滴下・エッジ・バックリンス動画はこちら。

エッジ・バックリンス動画はこちら。

圧力と絞りで調整可能ですが数値入力での管理はできません

オプションとして滴下装置のご用意がございます。滴下動作の動画はこちら。

電磁弁内のOリングが劣化しているかOリング周りに付着物があり弁が閉じられない状態にある可能性がございます。

内部のモーターシャフト部に塗布液が付着して、それが抵抗となって初期動作が出来ないためのエラーとなっている可能性がございます。最終的な解決方法はモーターの交換となります。

真空ラインに何らかの問題があります。原則預かり修理対応となりますが、真空シール材(オイルシール)をお持ちであればオイルシール交換手順書を参照の上、交換作業を行ってください。交換しても吸着力が回復しない場合は、ご相談ください。
オイルシール交換手順書のダウンロードはこちら。

ダウンロードが可能でございます。
取扱説明書ダウンロード可能機種:1H-D7／1H-DX2／1H-360S／MS-A100／MS-A150／MS-A200
ダウンロード希望の方はこちら。

弊社のスピンコーターは腐食性の無いレジスト等を使用目的として主に金属を使用した造りとなっております。

酸性塗布材料につきましては、基本対応をしておりませんが、詳しくはお問合せ下さい。

対応しておりません。成膜装置ですから現像の様な多量の液を流すための構造となっておりません。

窒素雰囲気下での使用実績がございます。