スピンコーター

真空ポンプは必要ですが、工場の真空ラインから接続が可能な場合は、真空ポンプを使用しなくても大丈夫です。また、メカニカルチャック式の場合は必要ありませんが、その場合バキュームインターロック機能が使用できなくなります。詳しくはお問い合わせ下さい。

本体・真空ポンプ共に100V及び機種により200Vが必要です。またオプションの滴下装置を取り付けた場合はドライエアーとN2(窒素）が必要です。

オプションとして回転動作中に蓋を開けると動作停止するカバーインターロックと回転動作中は蓋を開ける事が出来なくなるセーフティインターロックがございます。

バキュームインターロックが、全機種標準装備されております。蓋の安全機構については、MS-B100、MS-B150についてはオプションとなり、MS-B200/密閉型、MS-B300/密閉型は標準装備となっております。オプション/特注仕様はこちら。

こちらをご参照ください。オプション/特注仕様はこちら。

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対応しておりません。

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オプションとしてご用意しております。

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