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スピンコーター塗布機.com（ミカサ）のスピンコーター（塗布機）において使用されている主な塗布材を紹介致します。
| ＜塗布材＞ | ●感光材 | 光触媒材料 | |
| 高分子・ポリマー | |||
| ITO/IGZO | |||
| SU-8 | ｜日本化薬 | ||
| UVレジン（紫外線硬化樹脂） | |||
| ポリイミド | |||
| 顔料 | |||
| フォトレジスト（OFPR） | ｜東京応化 | ||
| フォトレジスト（AZ） | ｜メルク・ジャパン（旧 AZマテリアル） | ||
| フォトレジスト（resist） | |||
| 有機顔料 ※グローブボックス内での使用 | |||
| 有機材料 ※グローブボックス内での使用 | |||
| 有機半導体材料 ※グローブボックス内での使用 | |||
| BM（ブラックマトリクス） | |||
| ●コーティング | コーティング材料 | ||
| ゴム | |||
| たんぱく質 | |||
| フィルム材料 | |||
| ワックス | |||
| 接着剤 | |||
| 熱硬化樹脂 | |||
| 反射防止膜 | |||
| 保護膜 | |||
| 無機 防汚・防曇コーテｨング材 | |||
| ●その他 | Na・Mg | ||
| エタノール混合液 | |||
| カーボン | |||
| グラフェン | |||
| その他 樹脂 | |||
| トルエン・キシレン | |||
| 有機EL（OLED）材料 | |||
| リン（P）を含む塗布液 | |||
| 添加剤 | |||
全機種用意がございます。来社もしくは貸し出しにてご対応をしております。詳しくはサイト内【ワークテスト】を参照の上、お問い合わせ下さい。ワークテストはこちら。
試料台を基板の大きさと同じになるように製作するので、外形を合わせていただければ大よそのセンタリングが可能です
MS-A100以外の機種はオプションでセンタリング治具（突き当て）を用意しております。
厚みについては、各機種の最大対応基板サイズで2㎜程度を想定しております。2㎜以上の厚みがある基板についてはご相談ください。
基本は、軸部分がPOM製、吸着面がアルミ製です。
その他POM製やテフロン製もございます。
他の材質【ステンレス製・PEEK製・塩ビ製】に、つきましてもお気軽にご相談ください。
基本は真空吸着方式です。
吸着方法にも溝式と小穴式がございます。基板の形や厚み、膜厚などの情報を基にご提案をしております。
メカニカルチャック方式も対応可能ですが、その場合バキュームインターロック機能が使用できなくなります。
他、中心部を吸着しない外周吸着方式、Oリング吸着方式などご希望・用途に合わせてご提案しております。
カットした基板や異形基板、フイルム用、スライドガラス用、ディスク用に対応した試料台(チャックホルダー)の作製実績もございます。お客様が使用される基板サイズに合わせて試料台(チャックホルダー)をご案内しております。まずはお気軽にご相談ください。
MS-B100、MS-B150、MS-B200用標準試料台がございます。標準試料台に合わないサイズの場合は、基板サイズに合わせて試料台をご提案致します。またMS-Aシリーズでも使用可能でございます。標準試料台の納期は1週間ほどとなります。
詳しい試料台の種類は弊社技術特設サイト【スピンコーター塗布機.com】サイト内の試料台(標準)を参照下さい。
スピンコーター塗布機.com試料台(標準)はこちら。
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