角基板のエッジ盛り上がりの解消をしたい。 | スピンコーター塗布機.com
ホーム > スピンコート・塗布・成膜の困りごと・要望解決 > 丸基板のエッジ盛り上がりの解消をしたい。
スピンコーター塗布機.comでは、塗布・成膜の困りごとの解決を致します。代表的な困りごとは以下の通りですが、それ以外のさまざまなお客様の困りごとへの対応はメール、電話にお問合せください。
<解決策>
エッジリンスのオプションを付けてください。または、レシピの変更をして下さい。
スピンコーターエッジ・バックリンス動画(MS-B300)