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技術資料　／　FAQ

技術資料（成膜データ）

スピンコーター成膜データ　MS-B300密閉型

【密閉型・オープン型角基板成膜分布比較画像】

＜密閉型＞  
スピンコーター成膜データ　MS-B300密閉型 
膜厚測定装置FILMETRICS製F50
レジストOFPR-800LB(東京応化社製)
基板サイズ150×150mm
膜厚分布±0.7％
＜オープン型＞  
スピンコーター成膜データ　MS-B300オープン型 
膜厚測定装置FILMETRICS製F50
レジストOFPR-800LB(東京応化社製)
基板サイズ150×150mm
膜厚分布±3.5％

 

スピンコーターMS-B300密閉型の製品案内はこちら　>>

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