小型、高性能(回転精度±1rpm)、多種多様な基板に対応 ラボ用スピンコーター

技術資料 / FAQ

技術資料(成膜データ)

スピンコーター成膜データ MS-B100 (レジスト:OFPR-800LB)

スピンコーター成膜データ MS-B100 
膜厚測定装置FILMETRICS製F50
レジストOFPR-800LB(東京応化社製)
基板サイズΦ4インチシリコンウエハ
ターゲット膜厚1μm
膜厚分布±0.8%

 

スピンコーターMS-B100の製品案内はこちら >>

Tags: , , ,

お問い合わせはお気軽に!フォトリソグラフィ.com/ミカサ・スピンコーター.comを、ご覧頂きまして誠にありがとうございます。スピンコーター(塗布機)等のことなら「ミカサ・スピンコーター.com」にお任せ下さい
フォトリソグラフィ.com
レジスト塗布images露光images現像imagesエッチング
 膜厚 測定検査線幅・形状測定検査