技術資料　／　FAQ

装置自体は回転時間と回転数を制御するもので、

薄膜（数十nm）から厚膜（数百μm）までを想定しております。

塗布液の粘度にも依存します。

詳しくはお問い合わせください。

Tags: スピンコーター, スピンコート