技術資料 ／ FAQ
修理
スピンコーターが回転動作しなくなりました。電源はONになりプログラムを入力することも可能です。ただスタートボタンを押しても回転動作が始まらず、時間のカウントも始まりません。そして数秒後、終了の音が鳴ります。
真空ラインに何らかの問題があります。原則預かり修理対応となりますが、真空シール材(オイルシール)をお持ちであればオイルシール交換手順書を参照の上、交換作業を行ってください。交換しても吸着力が回復しない場合は、ご相談ください。
オイルシール交換手順書のダウンロードはこちら。
