真空ポンプをONにするとスピンコーター本体の電源に関わらず真空が吸った状態になってしまいます。 | ミカサ・スピンコーター.com ミカサ・スピンコーター.com
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電磁弁内のOリングが劣化しているかOリング周りに付着物があり弁が閉じられない状態にある可能性がございます。
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