技術資料 ／ FAQ
試料台(チャックホルダー)
スピンコーター用試料台(チャックホルダー)で、基板の固定方法にはどのような方式がありますか。
基本は真空吸着方式です。
吸着方法にも溝式と小穴式がございます。基板の形や厚み、膜厚などの情報を基にご提案をしております。
メカニカルチャック方式も対応可能ですが、その場合バキュームインターロック機能が使用できなくなります。
他、中心部を吸着しない外周吸着方式、Oリング吸着方式などご希望・用途に合わせてご提案しております。
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