技術資料 / FAQ
試料台(チャックホルダー)
スピンコーター用試料台(チャックホルダー)は全ての機種で互換性がありますか。
本体と試料台の差し込み径は機種により異なります。後継機種であれば互換性がございます。
後継機種は以下の通りです。
● 1H-D7 ⇒ MS-A100 ⇒ MS-B100
● 1H-DX2 ⇒ MS-A150 ⇒ MS-B150
● 1H-360S ⇒ MS-A200 ⇒ MS-B200
● MS-A300 ⇒ MS-B300
● 1H-700C ⇒ MS-A500

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本体と試料台の差し込み径は機種により異なります。後継機種であれば互換性がございます。
後継機種は以下の通りです。
● 1H-D7 ⇒ MS-A100 ⇒ MS-B100
● 1H-DX2 ⇒ MS-A150 ⇒ MS-B150
● 1H-360S ⇒ MS-A200 ⇒ MS-B200
● MS-A300 ⇒ MS-B300
● 1H-700C ⇒ MS-A500