技術資料　／　FAQ

●ＨＭＤＳ処理:一般的です。ウエハ表面を疎水性にするための処理です。

●エッチングによる酸化膜の除去:ウエハ上のシリコン酸化膜を強酸エッチングする処理です。

●エキシマ処理:ガラス基板表面を短波長のＵＶエネルギーとそれにより発生するオゾンの力で基板表面の有機物の除去や表面の親水化により密着力を向上させる処理です。