技術資料　／　FAQ

■アルミ製

　●安価な試料台。

　●吸着面の面精度を気にされている場合。

■ＰＯＭ製

　●裏面を傷つけたくない。

　●使用基板サイズが装置ＭＡＸサイズとなり、試料台が大きく重くなった場合。

　●熱伝導が気になる場合。(溶剤の揮発性が高い、薄膜により温度変化の影響を受ける場合)

■テフロン製

　●複数種類の性質の異なる塗布液を使用。

　●有機溶剤を使用。

　●裏面を傷つけたくない。

　●熱伝導が気になる。(溶剤の揮発性が高い、薄膜により温度変化の影響を受ける場合)