小型、高性能(回転精度±1rpm)、多種多様な基板に対応 ラボ用スピンコーター
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技術資料 / FAQ

技術資料 / FAQ

試料台(チャックホルダー)の材質の違いによるメリットとデメリットは何ですか?

■アルミ製

  • メリット:金属ですので樹脂と比べ加工し易く吸着面の面精度(平面性)良く加工が可能です。また、金属ですので耐久性にも優れております。比較的に安価に作製ができます。

 

  • デメリット:熱伝導性が高いため連続稼働の場合、モーターからの熱が成膜に影響を及ぼしてしまうことがあります。POM製やテフロン製に比べ比重が重いので大きいサイズになると加速・減速性能が低下する等の影響がございます。

 

■POM製

  • メリット:金属に最も近い樹脂のため加工性が良く、面精度(平面性)を出し易い。機械的に疲労しにくい。金属に近い樹脂ですので耐久性にも優れ、熱伝導性が低い特徴がございます。テフロンより安価である。

 

  • デメリット:熱に弱く、アセトンなどの有機溶剤への耐薬性がないため膨張してしまう。テフロンに比べ耐薬品性に劣る。

 

■テフロン製

  • メリット:耐薬品性に優れ、ほとんどの薬品に対して耐性をもっている。耐熱性にも優れ、非粘着性及び低磨耗性と共に応用面で万能である。

 

  • デメリット:高価。機械的に脆く、衝撃に弱い。比重が重いため加速や減速性能が低下する。アルミより重い。アルミやPOMに比べ柔らかいため面精度(平面性)に劣る。

 

 

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