製品案内
フォトリソグラフィ.comでは、スピンコーター（塗布機）からマスクアライナー（露光装置）、現像・エッチングの研究用ラボ機を取り扱っております。
また、測定として、膜厚測定、段差、線幅・形状測定の各種測定機も取り扱っております。
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スピンコーター（塗布機）
≪スピンコーターMS-Bシリーズ比較表≫
| 機種 | 最大基板サイズ | 回転数 (rpm) | 滴下装置 | 電源 | 外形寸法(mm) ＜W×H×D＞ | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| ＜ウエハー＞ | ＜基板（mm）＞ | |||||
| MS-B100 | φ4インチ | 75×75 | 20～8,000 | 取付不可 | AC100～240V 5A | 259×246×330 |
| MS-B150 | φ6インチ | 100×100 | 20～7,000 | オプション | 352×303×432 | |
| MS-B200 | φ8インチ | 150×150 | 20～5,000 | 500×335×583 | ||
| MS-B300 | φ12インチ | 200×200 | 20～5,000 | AC200～240V 単層 5A | 545×432×654 | |
| MS-B200密閉型 | ー | 100×100 | 20～3,000 | 取付不可 | AC100～240V 5A | 540×460×630 |
| MS-B300密閉型 | ー | 150×150 | 20～3,000 | オプション | AC200～240V 単層 5A | 570×590×650 |
スピンコーター MS-B100[φ4インチウエハー・75×75mm基板対応モデル]
スピンコーター MS-B150[φ6インチウエハー・100×100mm基板対応モデル]
| 最大基板サイズ | φ6インチウエハー 又は100×100mm基板 |
|---|---|
| 回転数(rpm) | 20～7,000 |
| 回転精度 | ±1rpm(負荷時) |
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スピンコーター MS-B200[φ8インチウエハー・150×150mm基板対応モデル]
| 最大基板サイズ | φ8インチウエハー 又は150×150mm基板 |
|---|---|
| 回転数(rpm) | 20～5,000 |
| 回転精度 | ±1rpm(負荷時) |
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スピンコーター MS-B300[φ12インチウエハー・200×200mm基板対応モデル]
| 最大基板サイズ | MAXφ12インチ 又は200×200mm基板 |
|---|---|
| 回転数(rpm) | 20～5,000 |
| 回転精度 | ±1rpm(負荷時) |
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スピンコーター MS-B200密閉型[密閉式小型角基板専用モデル]
スピンコーター MS-B300密閉型[密閉式大型角基板専用モデル]
試料台
フォトリソグラフィ.comでは、スピンコーター塗布機の試料台を用途に応じて標準品をご用意しております。
またその他に関しましては、特注対応をしておりますのでお気軽にお問合せください。
| ●試料台（標準） | ●試料台（特注） |
MS-B100用 |
