製品案内
フォトリソグラフィ.comでは、スピンコーター（塗布機）からマスクアライナー（露光装置）、現像・エッチングの研究用ラボ機を取り扱っております。
また、測定として、膜厚測定、段差、線幅・形状測定の各種測定機も取り扱っております。
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現像・エッチング装置
フォトリソ用小型現像装置 AD-1200
特徴
■スイングノズル式スプレー現像及びパドル現像も対応
■耐薬品を考慮し接液部にSUSを使用
■液晶タッチパネルにてプログラム簡単入力
■最大3薬液まで拡張可能
■薬液、リンス、振り切りを連続処理
■薬液圧送ポンプ内蔵
仕様
| チャンバー | ステンレス製 |
|---|---|
| 基板サイズ | φ1インチ～φ6インチ(150×150mm) |
| 薬液圧送 | 内蔵ポンプ使用 |
| 薬液吐出 | スプレー吐出(スイングノズル式) |
スプレー現像とディップ現像の比較画像
| 主な装置及び材料 | |
|---|---|
| レジスト | AZ P4620 |
| 現像液 | AZ 400K |
| 使用スピンコーター | MS-B150 |
| 使用露光装置 | MA-20 |
| 使用現像装置 | AD-1200 |
| プロセス条件 | |
|---|---|
| 基板 | φ4インチシリコンウエハ |
| プライマリー処理 | HMDS |
| 膜厚 | >6μm |
| プリベーク | 100℃ 90sec |
| スプレー現像時間 | 60sec |
フォトリソ用現像装置 AD-3000
特徴
■大型基板対応ツインスイングノズルスプレー式
■耐薬品を考慮し接液部にSUSを使用
■液晶タッチパネルにてプログラム簡単入力
■薬液2系統又は3系統増設可能
■薬液、リンス、振り切りを連続処理
■薬液供給は加圧タンク圧送式
仕様
| チャンバー | ステンレス製 |
|---|---|
| 基板サイズ | φ1インチ～φ12インチ(220×220mm) |
| 薬液圧送 | 加圧タンク圧送式 |
| 薬液吐出 | スプレー吐出(スイングノズル式) |
フォトリソ用小型エッチング装置 ED-1200
特徴
■スイングノズル式スプレー（ウェット）エッチング装置
■耐薬品を考慮し接液部にPVC(塩ビ)を使用
■液晶タッチパネルにてプログラム簡単入力
■最大3薬液まで拡張可能
■エッチング、リンス、振り切りを連続処理
■薬液圧送ポンプ内蔵
仕様
| チャンバー | PVC(塩ビ)製 |
|---|---|
| 基板サイズ | φ1インチ～φ6インチ(150×150mm) |
| 薬液圧送 | 内蔵ポンプ使用 |
| 薬液吐出 | スプレー吐出(スイングノズル式) |
フォトリソ用エッチング装置 ED-3000
特徴
■大型基板対応
ツインスイングノズルスプレー式（ウェット）
■耐薬品を考慮し接液部にPVC(塩ビ)を使用
■液晶タッチパネルにてプログラム簡単入力
■薬液2系統又は3系統増設可能
■エッチング、リンス、振り切りを連続処理
■薬液供給は加圧タンク圧送式
仕様
| チャンバー | PVC(塩ビ)製 |
|---|---|
| 基板サイズ | φ1インチ～φ12インチ(220×220mm) |
| 薬液圧送 | 加圧タンク圧送式 |
| 薬液吐出 | スプレー吐出(スイングノズル式) |
フォトリソ用エッチング装置 ED-3000の詳しい製品仕様はこちら »
主なエッチング対象物及びエッチング液 一覧
| 対象物 | 使用エッチング液 | |
|---|---|---|
| 銅（Cu) | → | 塩化第二鉄 |
| ガラス・硝子 | → | フッ酸 |
| フッ硝酸 等 | ||
| アルミ（Al） | → | リン酸（燐酸） |
| シリコン（Si) | → | フッ酸 |
| チタン（Ti） | → | フッ酸 |
| 金（Au) | → | 王水 |
| クローム（Cr） | → | 硝酸 |
| ITO | → |
