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マスクアライナー使用上の一般的な注意点は?
マスクサイズと露光範囲の間隔に注意して下さい。有効露光範囲はマスクサイズより約1インチ小さくなります。 4×4インチマスクガラスを使用の場合、露光範囲はφ3インチとなります。露光範囲(マスクホルダーの露光窓)が 四角の場合、マスクホルダーの露光窓の4コーナー(四隅)にアール(R)部分ができます。5R位です。

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マスクサイズと露光範囲の間隔に注意して下さい。有効露光範囲はマスクサイズより約1インチ小さくなります。 4×4インチマスクガラスを使用の場合、露光範囲はφ3インチとなります。露光範囲(マスクホルダーの露光窓)が 四角の場合、マスクホルダーの露光窓の4コーナー(四隅)にアール(R)部分ができます。5R位です。